淄博高新区：聚力创芯智造未来

微谈中国MEMS产业未来与淄博高新区的崭新篇章

在信息产业的广阔天地里，有一种技术璀璨夺目，那便是MEMS——微电子机械系统的简称。这一领域汇聚了当今科技发展的尖端成果，被誉为智能传感的核心交互器件。中国工程院院士、清华大学副校长尤政在接受采访时提到：“MEMS产业是信息产业的一个重要发展方向，也是传感器和智能微系统行业的颠覆性技术。”经过几年的努力，淄博市、高新区与清华大学的联手已在MEMS行业结出了硕果。

那么，何为MEMS？它在国防军事、现代工业、消费电子、汽车电子及可穿戴设备等领域有着广泛的应用。以其体积小、功耗低、灵敏度高等特点，MEMS正成为智能化“感知”时代的核心力量。

淄博高新区精准捕捉到了这一发展趋势，与清华大学携手成立了国家高新区MEMS研究院。研究院不仅搭建了具有国际先进水平的6英寸硅基MEMS中试代工平台，还致力于打造国家级微系统产业化基地，引领国内MEMS器件的产业化进程。

在不久前的首届中国（淄博）MEMS产业战略高峰论坛上，高新区MEMS研究院自主研发的系列产品正式亮相，其中就包括MEMS陀螺、加速度计和继电器等。这些产品的高灵敏度和高可靠性使其在和民用领域都有广泛应用。更令人振奋的是，研究院还在研发MEMS微探针，这是原子力显微镜的核心部件，其国产化将打破国外的垄断，大幅降低采购成本。

走进山东博华电子科技发展有限公司的生产基地，你会被那里的超净规模和国际一流设备所震撼。德国SUSS公司的光刻机、奥德利EVG公司的键合机等国际顶尖设备都在这里得到了应用。这里不仅是高新技术的研究基地，更是产业发展的孵化基地。

山东博华只是高新区MEMS产业园区众多入驻企业中的一员。整个园区已吸引了多家科研机构和企业的入驻意向，规划面积广阔。未来，这里将建成集研发、试验、检测、生产等功能于一体的全球领先MEMS产业示范园。

随着技术的不断进步和园区的日益完善，我们有理由相信，淄博高新区的MEMS产业将成为国际领先的产业集群，引领国内甚至全球的产业发展方向。这是一个充满机遇与挑战的新时代，让我们共同期待这一产业的辉煌未来。