|浅析直驱电机在半导体制造中的应用
导语直驱电机的原理及类型直驱电动机是直接驱动式电动机的简称,主要指电动机在驱动负载时,不需经过传动装置。由于直驱电动机避免使用了传动带等传动设备,而这些传动部件恰恰是系统中故障率较高的部件,所以使用直驱电动机的系统,从技术上讲应具有更低的故障率。
使用传动装置(如减速齿轮、带轮等)的机械系统,常常结构复杂,体积庞大,重量增加,而且带来系统运行成本、噪声及传动效率等方面的多种问题。直驱电动机的诞生使得驱动装置变得更紧凑,重量更轻,控制起来也更加容易。
直驱电动机根据其制造的原理不同主要可以分为两类,力矩电动机和直线电动机。
直接驱动就是在驱动系统控制下将直驱电机(或力矩电机)直接连接到负载上,实现对负载的直接驱动。
采用此种结构,所有机械传动部件(滚珠丝杠副、齿条与齿轮、传动皮带/皮带轮以及齿轮箱等)均被取消,消除了由机械传动带来的反向间隙、柔度以及与之相关的其它问题。
直驱电机包括直驱式直线电机(DDL)和直驱式旋转电机(DDR)传统电机不能实现低速或高速运转,在许多场合要在电机和被驱动设备中加装或增速机,以达到设备所需要的低速大扭矩或高速运转,增加了传动环节,降低了系统效率、浪费了能量。
直驱电机的应用领域
● 半导体制造电子绘图仪,高速分度处理器,取薄片、校准设备。
● 液晶基板装置电路检查仪,粘接、分段切断器,搬运设备。
● 组装机械取/放设备,引脚焊接器,精密θ轴,微点焊接机。
● 检查/量测设备超低速高精度回转台、云台、速度试验仪、医疗用检查平台。 上海奥茵绅的产品主要应用场合COG、FOG、OCA真空触摸屏贴合、激光划片、全自动偏光片贴附机,手机组装线、手机电池叠片设备、太阳能电池的检查设备、全自动背光组装设备、IC测试分选机。依靠公司的技术实力以及优质的服务,赢得了广大客户的认可,其中包括富士康、天马微电子、大族激光、宸鸿科技、TCL、京东方、夏普、索尼以及苹果公司多家代工厂。
以上关于直驱电机的应用知识就到这里,下期见。
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