国产芯片突破在即,荷兰ASML掐住关键设备,意外

新闻热点 2021-06-25 08:42www.robotxin.com纳米机器人

在芯片制造的过程中,光刻机是最关键的设备之一,也是攻克难度最高的设备。

长期以来,荷兰ASML凭借着在光刻机行业的垄断地位,掐住了全球芯片制造业的脖子。数据显示,在2019年全球光刻机市场中,ASML独占74%的市场。在EUV光刻机市场中,ASML更是实现了100%的垄断。

 

中国的芯片制造产业,也被ASML掐在手中。至今,ASML仍未松口卖EUV光刻机给中国大陆企业,这令我国实现10nm及以下制程芯片困难重重。

ASML的举措让中国企业有了深深的危机感,意外盘活了国产光刻机。近年来,国产光刻机产业取得了越来越多的成绩。

 

据企查查显示,日前科益虹源股权发生变更,华为旗下的哈勃投资成为第七大股东,占股为4.76%。科益虹源在光源系统领域表现优异,而光源系统则是光刻机的三大核心技术之一。

值得注意的是,除华为外还有许多企业也入股了科益虹源。这表示,更多的资本开始关注中国光刻机产业,中国光刻机企业有更多的资金用于研发。

 

虽然我国在光刻机领域,仍不能与ASML相抗衡,但我国在光刻机及关键产业都打下了一定的基础。这成为我国光刻机崛起的底气。

在光刻机的核心部件——双工件台上,华卓精科已经取得突破。它是全球除ASML之外,唯一掌握高端光刻机双工件台的企业,目前已经可以生产浸没式28nm光刻机DWSi系统双工件台,表现亮眼。

除科益虹源、华卓精科外,我国还有国望光学、国科精密、启尔机电这三家光刻机产业链企业,它们分别扎根于物镜系统、曝光光学系统以及浸没系统领域。

 

这五大供应商,共同填补了我国光刻机核心部件上的空白,具有重要意义。

此外,我国高校、科研机构也频频传来新突破,为国产光刻机的突围带来了更多的可能性。

譬如,今年2月份清华大学工程物理系实现稳态微聚束(SSMB)的首个原理验证实现。据了解,SSMB功率大、波长短的特性,使其有望作为未来EUV光刻机的光源。

 

由此不难看出,国产光刻机正在快速崛起。

从上述种种事件来看,ASML CEO的预言正在上演,他曾表示,若禁止光刻机出口中国,中国可能在3年内就掌握这项技术。

十分期待国产光刻机突出重围的这一天。

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